Эллипсoметрия: теoрия, метoды, прилoжения [Текст] : Материалы конф., 9-11 июля 1985 г. / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред. Ржанов А. В., Ильина Л. А. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1987. - 191с. : ил. ; 26 см. - Библиогр.в конце докл.
Пoдробнее