Резвый, Ростислав Ростиславович. 
Эллипсoметрия в микрoэлектрoнике [текст] / Резвый Ростислав Ростиславович - Москва : Радио и связь, 1983. - 120 с. : ил. - Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.).



Автор: Резвый Ростислав Ростиславович

Основное заглавие: Эллипсометрия в микроэлектронике

Физический носитель: текст

Год публикации: 1983

Место издания: Москва

Издательство: Радио и связь

Объем: 120 с.

Ключевые слова: Эллипсометрия; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1

Библиография: Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.)

2056106
Резвый, Ростислав Ростиславович. 
Эллипсoметрия в микрoэлектрoнике [текст] / Резвый Ростислав Ростиславович - Москва : Радио и связь, 1983. - 120 с. : ил. - Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.).
ББК 32.844.1
2056106-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2056106 кх Доступна -