Основное заглавие: Эллипсометрия: теория, методы, приложения

Сведения, относящ. к заглавию: Материалы конф., 9-11 июля 1985 г.

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред. Ржанов А. В., Ильина Л. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 191с.

Ключевые слова: Эллипсометрия;

ББК: 22.341.3

Библиография: Библиогр.в конце докл.