Эллипсoметрия: теoрия, метoды, прилoжения [Текст] : Материалы конф., 9-11 июля 1985 г. / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред. Ржанов А. В., Ильина Л. А. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1987. - 191с. : ил. ; 26 см. - Библиогр.в конце докл.



Основное заглавие: Эллипсометрия: теория, методы, приложения

Сведения, относящ. к заглавию: Материалы конф., 9-11 июля 1985 г.

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред. Ржанов А. В., Ильина Л. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 191с.

Ключевые слова: Эллипсометрия;

ББК: 22.341.3

Библиография: Библиогр.в конце докл.

2207393
 
Эллипсoметрия: теoрия, метoды, прилoжения [Текст] : Материалы конф., 9-11 июля 1985 г. / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред. Ржанов А. В., Ильина Л. А. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1987. - 191с. : ил. ; 26 см. - Библиогр.в конце докл.
ББК 22.341.3
2207393-кх; 2208780-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2207393 кх Доступна -
2 2208780 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера