Основное заглавие: Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения

Сведения, относящ. к заглавию: Сб. науч. тр.

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред. Свиташев К. К., Мардежов А. С.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 251,[1]с.

ISBN: 5-02-029916-2

Ключевые слова: Эллипсометрия;

ББК: 22.341.3

Библиография: Библиогр. в конце ст.