Основное заглавие: Современные проблемы эллипсометрии

Сведения, относящ. к заглавию: [сборник статей]

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. А. В. Ржанов

Физический носитель: текст

Год публикации: 1980

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сибирское отделение

Объем: 192 с.

Ключевые слова: Эллипсометрия;

ББК: 22.341.3

Библиография: Библиогр. в конце статей