Самарская областная
универсальная научная
библиотека
Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии [Текст] / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; Бурыкин И. Г. [и др.] ; отв. ред. Ржанов А. В. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1980. - 186 с.

Основное заглавие: Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; Бурыкин И. Г. [и др.] ; отв. ред. Ржанов А. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1980

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 186 с.

Ключевые слова: Алгоритмы; Эллипсометрия

ББК: 22.341.3