Основное заглавие: Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии
Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; Бурыкин И. Г. [и др.] ; отв. ред. Ржанов А. В.
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1980
Место издания: Новосибирск
Издательство: Наука, Сиб. отд-ние
Объем: 186 с.
Ключевые слова: Алгоритмы; Эллипсометрия;
ББК: 22.341.3
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | Ф-1956141 | кх | Доступна | - |