Автор: Конев Владимир Афанасьевич

Другие авторы: Кулешов Е. М.; Пунько Н. Н.

Основное заглавие: Радиоволновая эллипсометрия

Ответственность: Под ред. Ковалева И. С.; АН БССР, Ин-т прикл. физики

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1985

Место издания: Минск

Издательство: Наука и техника

Объем: 104с.

Ключевые слова: Фотометрия; Эллипсометрия; Радиоволновая эллипсометрия;

ББК: 22.341.3

Библиография: Библиогр.: с. 99-102