Основное заглавие: Эллипсометрия - метод исследования поверхности
Сведения, относящ. к заглавию: [сборник статей]
Ответственность: Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; ответственный редактор Ржанов А. В.
Год публикации: 1983
Место издания: Новосибирск
Издательство: Наука, Сибирское отделение
Объем: 179 с.
Ключевые слова: Эллипсометрия;
ББК: 22.341.3
Библиография: Библиогр. в конце ст.
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2057971 | кх | Доступна | - |