Основное заглавие: Основы эллипсометрии
Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; [А. В. Ржанов, К. К. Свиташев, А. И. Семененко и др.] ; отв. ред. А. В. Ржанов
Физический носитель: текст
Год публикации: 1979
Место издания: Новосибирск
Издательство: Наука, Сибирское отделение
Объем: 422 с.
Ключевые слова: Эллипсометрия;
ББК: 22.344
Библиография: Библиогр. обзор по эллипсометрии и некоторым смеж. вопр. (1950-1976 гг.): с. 377-419; Библиогр.: с. 375-376 (21 назв.)
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1876409 | кх | Доступна | - |