Автор: Конев Владимир Афанасьевич

Другие авторы: Любецкий Н. В.; Тиханович С. А.

Основное заглавие: Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур

Ответственность: АН БССР, Ин-т прикл. физики

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: Минск

Издательство: Наука и техника

Объем: 132,(1)с.

ISBN: 5-343-00059-2

Ключевые слова: Фотометрия; Эллипсометрия; Радиоволновая эллипсометрия;

ББК: 22.341.3

Библиография: Библиогр.: с. 129-131