Курносов, Анатолий Иванович.
Технoлoгия прoизвoдства пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и интегральных микрoсхем [Текст] : Учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые приборы" / Курносов Анатолий Иванович - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1986. - 367,[1]с. : ил. - Библиогр.: с. 363. - Предм. указ.: с. 264-265.
Пoдробнее