Основное заглавие: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для ПТУ: В 10 кн.

Ответственность: Мартынов В. В., Базарова Т. Е.

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Литографические процессы

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 126,[2]с.

ISBN: 5-06-001080-5

Ключевые слова: Литография; Микроэлектроника; Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы; Микролитография;

ББК: 32.852-06я7+32.844.15-06я7