Основное заглавие: Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем

Сведения, относящ. к заглавию: Сб. науч. тр.

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники; Под ред. Парменова Ю. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: М.

Издательство: МИЭТ

Объем: 122с.

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Надежность; Полупроводники; Полупроводниковые элементы; Проектирование;

ББК: 32.844.15

Библиография: Библиогр.в конце ст.