Автор: Барил Михаил Абрамович

Другие авторы: Самойликов В. К.

Основное заглавие: Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1978

Место издания: М.

Издательство: Энергия

Объем: 112 с.

Cерия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Примечание: На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Интегральные схемы; Производство; Оборудование; Микроэлектронные схемы; Газовые системы;

ББК: 32.852-06

Библиография: Библиогр.: с. 110