Основное заглавие: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для ПТУ: В 10 кн.

Ответственность: Моряков О. С.

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Элионная обработка

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 125,[3]с.

ISBN: 5-06-001079-1

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06я7+32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 127