Мокеев, Олег Константинович. 
Химическая oбрабoтка и фoтoлитoграфия в прoизвoдстве пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и микрoсхем [Текст] : Учеб. для сред. ПТУ / Мокеев Олег Константинович, Романов А. С. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1985. - 312с. : ил. ; 21 см. - (Профессионально-техническое образование).



Автор: Мокеев Олег Константинович

Другие авторы: Романов А. С.

Основное заглавие: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для сред. ПТУ

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1985

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 312с.

Cерия: Профессионально-техническое образование

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы; Химическая обработка; Фотолитография;

ББК: 32.844.15-06я7

2136070
Мокеев, Олег Константинович. 
Химическая oбрабoтка и фoтoлитoграфия в прoизвoдстве пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и микрoсхем [Текст] : Учеб. для сред. ПТУ / Мокеев Олег Константинович, Романов А. С. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1985. - 312с. : ил. ; 21 см. - (Профессионально-техническое образование).
ББК 32.844.15-06я7
2136070-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2136070 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера