Автор: Мокеев Олег Константинович
Другие авторы: Романов А. С.
Основное заглавие: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для сред. ПТУ
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1985
Место издания: М.
Издательство: Высш. шк.
Объем: 312с.
Cерия: Профессионально-техническое образование
Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы; Химическая обработка; Фотолитография;
ББК: 32.844.15-06я7
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2136070 | кх | Доступна | - |