Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем — Самарская областная универсальная научная библиотека

Мокеев, Олег Константинович.

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : Учеб. для сред. ПТУ / Мокеев Олег Константинович, Романов А. С. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1985. - 312с. : ил. ; 21 см. - (Профессионально-техническое образование).

Автор: Мокеев Олег Константинович

Другие авторы: Романов А. С.

Основное заглавие: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для сред. ПТУ

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1985

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 312с.

Серия: Профессионально-техническое образование

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы; Химическая обработка; Фотолитография

ББК: 32.844.15-06я7