Автор: Углов Александр Алексеевич

Другие авторы: Анищенко Л. М.; Кузнецов С. Е.

Основное заглавие: Адгезионная способность пленок

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 101, [2] с.

Серия: Библиотека конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Пленки; Полупроводниковые пленки; Адгезия; Полимеры; Микроэлектронные схемы

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр.: с. 100-102