Основное заглавие: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для ПТУ: В 10 кн.

Ответственность: Минайчев В. Е.

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Нанесение пленок в вакууме

Год публикации: 1989

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 109,[1]с.

ISBN: 5-06-000308-6

Ключевые слова: Вакуум; Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые пленки; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06я7+32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 108