Чепурнов, Виктор Иванович.
Эпитаксия в микрoэлектрoнике [Текст] : [учеб. пособие] / Чепурнов Виктор Иванович ; Самар. гос. ун-т, Каф. полупроводниковой электроники и нанотехнологий. - Самара : Самар. ун-т, 2009. - 47, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 43-47. : 20.00.
Пoдробнее