Автор: Чепурнов Виктор Иванович
Другие авторы: Сивакова К. П.
Основное заглавие: Эпитаксия в микроэлектронике
Сведения, относящ. к заглавию: [учеб. пособие]
Ответственность: Самар. гос. ун-т, Каф. полупроводниковой электроники и нанотехнологий
Физический носитель: Текст
Год публикации: 2009
Место издания: Самара
Издательство: Самар. ун-т
Объем: 47, [1] с.
Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронная технология; Эпитаксия;
ББК: 32.844.1-06
Библиография: Библиогр.: с. 43-47
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2614030 | кх | Доступна | - |
2 | МИ-7995 | кх | Доступна | - |