Основное заглавие: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для ПТУ: В 10 кн.

Ответственность: Никифорова-Денисова С. Н.

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Механическая и химическая обработка

Год публикации: 1989

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 94,[1]с.

ISBN: 5-06-000306-X

Ключевые слова: Механическая обработка; Микроэлектроника; Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектронные схемы; Полупроводники; Полупроводниковые приборы; Химическая обработка;

ББК: 32.852-06я7+32.844.15-06я7