Основное заглавие: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. для ПТУ: В 10 кн.

Ответственность: Козырь И. Я., Горбунов Ю. И., Чернозубов Ю. С., Пономарев А. С.

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Общая технология

Год публикации: 1989

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 222,[1]с.

ISBN: 5-06-000303-5

Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронная аппаратура; Полупроводниковые приборы; Радиоэлектроника;

ББК: 32.852-06я7+32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 221