Бубенников, Александр Николаевич.
Мoделирoвание интегральных микрoтехнoлoгий, прибoрoв и схем : Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" / Бубенников Александр Николаевич - Москва : Высшая школа, 1989. - 319,[1]с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 315. - Предм. указ.: с. 316-317. - ISBN 5-06-000123-7
Пoдробнее