Основное заглавие: Фотошаблоны для интегральных схем

Сведения, относящ. к заглавию: (отечественная, иностранная литература и патенты за 1965-1971 гг.)

Ответственность: Министерство электронной промышленности СССР ; составители: Солуянова Г. Б., Нодельман Т. И.

Год публикации: 1973

Место издания: Москва

Издательство: Электроника

Объем: 43 с.

Cерия: Тематические указатели литературы

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Интегральные микротехнологии; Фотошаблоны;

ББК: 91.9:32.84+32.844.15-06