Автор: Броудай Ивор

Другие авторы: Мерей Д.

Основное заглавие: Физические основы микротехнологии

Ответственность: Пер. с англ. Володина Р. А. и др.; Под ред. Шальнова А. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1985

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 494с.,ил.

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микротехнология;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492