Автор: Подвальный Леонид С.

Основное заглавие: Физические основы микротехнологии СБИС памяти

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие

Ответственность: Яросл. гос. ун-т

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: Ярославль

Издательство: ЯрГУ

Объем: 67с.

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника

ББК: 32.973.26-043

Библиография: Библиогр.: с. 66