Автор: Бубенников Александр Николаевич

Основное заглавие: Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники"

Год публикации: 1989

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 319,[1]с.

ISBN: 5-06-000123-7

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Моделирование; Интегральные микротехнологии; Интегральные приборы;

ББК: 32.844.15-02

Библиография: Библиогр.: с. 315. - Предм. указ.: с. 316-317