Черняев, Александр Владимирович. 
Метoд иoннoй имплантации в технoлoгии прибoрoв и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / Черняев Александр Владимирович - М. : Радио и связь, 1990. - 85,[2]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 83-86. - ISBN 5-256-00740-8



Автор: Черняев Александр Владимирович

Основное заглавие: Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 85,[2]с.

ISBN: 5-256-00740-8

Ключевые слова: Арсенид; Галлий; Имплантация; Интегральные микротехнологии; Ионное легирование; Легирование; Полупроводники; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06+32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 83-86

2307806
Черняев, Александр Владимирович. 
Метoд иoннoй имплантации в технoлoгии прибoрoв и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / Черняев Александр Владимирович - М. : Радио и связь, 1990. - 85,[2]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 83-86. - ISBN 5-256-00740-8
ББК 32.852-06+32.844.15-06
2307806-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2307806 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера