Автор: Черняев Александр Владимирович

Основное заглавие: Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 85,[2]с.

ISBN: 5-256-00740-8

Ключевые слова: Арсенид; Галлий; Имплантация; Интегральные микротехнологии; Ионное легирование; Легирование; Полупроводники; Полупроводниковые приборы

ББК: 32.852-06+32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 83-86