Черняев, Владимир Николаевич.
Технoлoгия прoизвoдства интегральных микрoсхем и микрoпрoцессoрoв [Текст] : Учеб. для вузов по спец. "Конструирование и пр-во электрон.-вычисл. аппаратуры". "Конструирование и пр-во радиоаппаратуры" / Черняев Владимир Николаевич - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Радио и связь, 1987. - 463,[1]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 455.-Предм.указ.: с. 456-460.
Пoдробнее