Электронный каталог

Микролитография [Текст] : Принципы, методы, материалы: В 2 ч. Ч. 2 / Моро Уэйн ; Пер. с англ. под ред. Тимерова Р. Х.; Предисл. Валиева К. А. - М. : Мир, 1990. - С.614-1239,[5]. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 1227-1235. - ISBN 5-03-001372-5 - ISBN 5-03-001717-8

Микролитография [Текст] : Принципы, методы, материалы: В 2 ч. Ч. 1 / Моро Уэйн ; Пер. с англ. под ред. Тимерова Р. Х.; Предисл. Валиева К. А. - М. : Мир, 1990. - 606с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001372-5 - ISBN 5-03-001716-X

Микроструктурирование тонких пленок [Текст] / Отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1991. - 110,[2]с. : ил. ; 24 см. - (Труды Физико-технологического института ; Т. 2). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006817-9

Физика субмикронной литографии [Текст] / Валиев Камиль Ахметович - М. : Наука, 1990. - 527,[1]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : Учеб. пособие для ПТУ: В 10 кн. Кн. 8 : Литографические процессы / Мартынов В. В., Базарова Т. Е. - М. : Высш. шк., 1990. - 126,[2]с. : ил. ; 20 см. - ISBN 5-06-001080-5