Микрoструктурирoвание тoнких пленoк [Текст] / Отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1991. - 110,[2]с. : ил. ; 24 см. - (Труды Физико-технологического института ; Т. 2). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006817-9



Основное заглавие: Микроструктурирование тонких пленок

Ответственность: Отв. ред. Орликовский А. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 110,[2]с.

ISBN: 5-02-006817-9

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Микролитография;

ББК: 32.844.152+32.844.13

Библиография: Библиогр. в конце ст.

2354898
 
Микрoструктурирoвание тoнких пленoк [Текст] / Отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1991. - 110,[2]с. : ил. ; 24 см. - (Труды Физико-технологического института ; Т. 2). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006817-9
ББК 32.844.152+32.844.13
2354898-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2354898 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера