Основное заглавие: Микроструктурирование тонких пленок

Ответственность: Отв. ред. Орликовский А. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 110,[2]с.

ISBN: 5-02-006817-9

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Микролитография;

ББК: 32.844.152+32.844.13

Библиография: Библиогр. в конце ст.