Автор: Моро Уэйн

Основное заглавие: Микролитография

Сведения, относящ. к заглавию: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.

Ответственность: Пер. с англ. под ред. Тимерова Р. Х.; Предисл. Валиева К. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: С.614-1239,[5]

ISBN: 5-03-001372-5; 5-03-001717-8

Ключевые слова: Микролитография; Микроэлектроника

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 1227-1235