Валиев, Камиль Ахметович. 
Физика субмикрoннoй литoграфии [Текст] / Валиев Камиль Ахметович - М. : Наука, 1990. - 527,[1]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2



Автор: Валиев Камиль Ахметович

Основное заглавие: Физика субмикронной литографии

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 527,[1]с.

ISBN: 5-02-014381-2

Ключевые слова: Литография; Физика; Микролитография; Субмикронная литография;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце гл.

2329086
Валиев, Камиль Ахметович. 
Физика субмикрoннoй литoграфии [Текст] / Валиев Камиль Ахметович - М. : Наука, 1990. - 527,[1]с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2
ББК 32.844.15-06
2329086-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2329086 кх Доступна -