Автор: Валиев Камиль Ахметович

Основное заглавие: Физика субмикронной литографии

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 527,[1]с.

ISBN: 5-02-014381-2

Ключевые слова: Литография; Физика; Микролитография; Субмикронная литография

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце гл.