1
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : Учеб. пособие для ПТУ: В 10 кн. Кн. 4 : Механическая и химическая обработка / Никифорова-Денисова С. Н. - М. : Высш. шк., 1989. - 94,[1]с. : ил. ; 20 см. - ISBN 5-06-000306-X
Подробнее