Бочкин, Олег Иванович.
Механическая обработка полупроводниковых материалов [Текст] / Бочкин Олег Иванович, Брук Вадим Аркадьевич, Никифорова-Денисова Светлана Николаевна - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1983. - 112 с. : ил. - (Профессионально-техническое образование. Полупроводники). - Библиогр.: с. 111.

Автор: Бочкин Олег Иванович

Другие авторы: Брук Вадим Аркадьевич; Никифорова-Денисова Светлана Николаевна

Основное заглавие: Механическая обработка полупроводниковых материалов

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1983

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 112 с.

Серия: Профессионально-техническое образование

Ключевые слова: Полупроводники; Полупроводниковые материалы; Механическая обработка

ББК: 32.843.3я7

Библиография: Библиогр.: с. 111