3961
Масленников, Павел Николаевич.
Оптимизация структуры линий полупроводникового производства при их проектировании [текст] / Масленников Павел Николаевич, Сысоев Валерий Васильевич - Воронеж : Изд-во Воронежского университета, 1979. - 107 с. : ил. - Библиогр.: с. 103-106 (59 назв.).
Подробнее