Масленников, Павел Николаевич.
Оптимизация структуры линий полупроводникового производства при их проектировании [текст] / Масленников Павел Николаевич, Сысоев Валерий Васильевич - Воронеж : Изд-во Воронежского университета, 1979. - 107 с. : ил. - Библиогр.: с. 103-106 (59 назв.).

Автор: Масленников Павел Николаевич

Другие авторы: Сысоев Валерий Васильевич

Основное заглавие: Оптимизация структуры линий полупроводникового производства при их проектировании

Физический носитель: текст

Год публикации: 1979

Место издания: Воронеж

Издательство: Изд-во Воронежского университета

Объем: 107 с.

Ключевые слова: Поточные линии; Приборостроение; Проектирование; Математические методы; Полупроводниковые приборы; Поточные методы

ББК: 32.852-06

Библиография: Библиогр.: с. 103-106 (59 назв.)