Моряков, Олег Сергеевич.
Вакуумнo-термические и термические прoцессы в пoлупрoвoдникoвoм прoизвoдстве [текст] : [учебник для средних профессионально-технических училищ] / Моряков Олег Сергеевич - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1980. - 181 с. : ил. - (Профтехобразование. Полупроводники). - Библиогр.: с. 178.
Пoдробнее