Автор: Моряков Олег Сергеевич
Основное заглавие: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений]
Физический носитель: текст
Год публикации: 1974
Место издания: Москва
Издательство: Высшая школа
Объем: 141 с.
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Вакуумно-термические процессы; Термические процессы
ББК: 32.852-06я7
Библиография: Список лит.: с. 139
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.