Автор: Моряков Олег Сергеевич

Основное заглавие: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве

Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1974

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 141 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Вакуумно-термические процессы; Термические процессы;

ББК: 32.852-06я7

Библиография: Список лит.: с. 139