Автор: Моряков Олег Сергеевич
Основное заглавие: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
Сведения, относящ. к заглавию: [учебник для средних профессионально-технических училищ]
Физический носитель: текст
Год публикации: 1980
Место издания: Москва
Издательство: Высшая школа
Объем: 181 с.
Серия: Профтехобразование
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Вакуумно-термические процессы; Термические процессы
ББК: 621.382.002+32.852-06я7
Библиография: Библиогр.: с. 178
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.