Автор: Моряков Олег Сергеевич
Основное заглавие: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
Сведения, относящ. к заглавию: [учебник для средних профессионально-технических училищ]
Физический носитель: текст
Год публикации: 1980
Место издания: Москва
Издательство: Высшая школа
Объем: 181 с.
Cерия: Профтехобразование
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Вакуумно-термические процессы; Термические процессы;
ББК: 621.382.002+32.852-06я7
Библиография: Библиогр.: с. 178
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1958742 | кх | Доступна | - |