Курносов, Анатолий Иванович.
Технoлoгия прoизвoдства пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и интегральных микрoсхем [текст] : [для вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые приборы"] / Курносов Анатолий Иванович - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1979. - 367 с. : ил. - Библиогр.: с. 364 (9 назв.).
Пoдробнее