Автор: Вартанян В. И.

Основное заглавие: Полупроводниковые интегральные микроузлы

Ответственность: Центр. правление науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1972

Место издания: Москва

Издательство: Машиностроение

Объем: 41 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные системы; Интегральные микросхемы; Производство;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 40