Автор: Курносов Анатолий Иванович

Другие авторы: Юдин Владимир Васильевич

Основное заглавие: Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: [для вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые приборы"]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1979

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 367 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;

ББК: 621.382.002+32.852-06я7+32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 364 (9 назв.)