1
Беляев, Анатолий Иванович.
Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов [Текст] : для вузов по спец. "Технология спец. материалов электрон. техники" / Беляев Анатолий Иванович - М. : Металлургия, 1973. - 223 c. : черт. - Библиогр.: с. 220-223.
Подробнее