Автор: Беляев Анатолий Иванович
Основное заглавие: Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов
Сведения, относящ. к заглавию: для вузов по спец. "Технология спец. материалов электрон. техники"
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1973
Место издания: М.
Издательство: Металлургия
Объем: 223 c.
Ключевые слова: Металлургия; Металлургическое производство; Металлы; Цветные металлы; Чистые металлы; Полупроводники; Очистка; Особо чистые металлы; Химическая очистка
ББК: 34.843.3-06
Библиография: Библиогр.: с. 220-223
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.