27841
Минаков, Валерий Иванович.
Производство тонкопленочных микросхем [текст] : [учебное пособие для подготовки рабочих на производстве / Минаков Валерий Иванович, Коган Михаил Залманович - Ленинград : Энергия, Ленинградское отделение, 1973]. - 175 с. : ил. - Список лит.: с. 174.
Подробнее