Автор: Минаков Валерий Иванович
Другие авторы: Коган Михаил Залманович
Основное заглавие: Производство тонкопленочных микросхем
Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для подготовки рабочих на производстве
Физический носитель: текст
Год публикации: 1973]
Место издания: Ленинград
Издательство: Энергия, Ленинградское отделение
Объем: 175 с.
Ключевые слова: Микросхемы; Пленочные микросхемы; Производство
ББК: 32.844.13
Библиография: Список лит.: с. 174
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.