Автор: Минаков Валерий Иванович

Другие авторы: Коган Михаил Залманович

Основное заглавие: Производство тонкопленочных микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для подготовки рабочих на производстве

Физический носитель: текст

Год публикации: 1973]

Место издания: Ленинград

Издательство: Энергия, Ленинградское отделение

Объем: 175 с.

Ключевые слова: Микросхемы; Пленочные микросхемы; Производство;

ББК: 32.844.13

Библиография: Список лит.: с. 174