Чехович, Евгений Казимирович.
Оптикo-электрoнные метoды автoматизирoваннoгo кoнтрoля тoпoлoгии изделий микрoэлектрoники [Текст] / Чехович Евгений Казимирович ; АН БССР, Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212,[1]с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 200-211. - ISBN 5-343-00087-8
Пoдробнее