Чехович, Евгений Казимирович. 
Оптикo-электрoнные метoды автoматизирoваннoгo кoнтрoля тoпoлoгии изделий микрoэлектрoники [Текст] / Чехович Евгений Казимирович ; АН БССР, Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212,[1]с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 200-211. - ISBN 5-343-00087-8



Автор: Чехович Евгений Казимирович

Основное заглавие: Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники

Ответственность: АН БССР, Ин-т электроники

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: Минск

Издательство: Наука и техника

Объем: 212,[1]с.

ISBN: 5-343-00087-8

Ключевые слова: Автоматический контроль; Контроль; Контрольно-измерительные инструменты; Контрольно-измерительные приборы; Микроэлектроника; Микроэлектронная аппаратура; Оптоэлектроника; Оптоэлектронные инструменты; Оптоэлектронные приборы; Технический контроль; Электроника;

ББК: 32.844.1

Библиография: Библиогр.: с. 200-211

2281791
Чехович, Евгений Казимирович. 
Оптикo-электрoнные метoды автoматизирoваннoгo кoнтрoля тoпoлoгии изделий микрoэлектрoники [Текст] / Чехович Евгений Казимирович ; АН БССР, Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212,[1]с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 200-211. - ISBN 5-343-00087-8
ББК 32.844.1
2281791-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2281791 кх Доступна -