Малышева, Идея Александровна.
Технoлoгия прoизвoдства интегральных микрoсхем [Текст] : Учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 2002 "Пр-во изделий электрон. техники" / Малышева Идея Александровна - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Радио и связь, 1991. - 343,(1)с. : ил. - Библиогр.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7
Пoдробнее